多脉冲EUV诱导氢等离子体的PIC-漂移扩散混合模型数值模拟研究<sup>*</sup>

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张宇强, 余新刚

Numerical simulation study of PIC-drift-diffusion hybrid model for multi-pulse EUV-induced hydrogen plasma

ZHANG Yuqiang, YU Xingang

中国科学院大学学报 . 0, (): 9 -9 . DOI: 10.7523/j.ucas.2024.049