EUV光刻机收集镜舱室内锡等离子体的流动模拟<sup>*</sup>

欢迎访问中国科学院大学学报，今天是

Email Alert RSS English

李金明, 余新刚

Flow simulation of tin plasma in the collection mirror chamber of EUV lithography machine

LI Jinming, YU Xingang

中国科学院大学学报 . 2026, (): 0 . DOI: 10.7523/j.ucas.2026.027